C23C 14/35 — с использованием магнитного поля, например распыление магнетроном

Номер инновационного патента: 31313

Опубликовано: 30.06.2016

Авторы: Уалиев Дани Шайтмахметович, Юрченко Василий Викторович, Солонуха Артем Сергеевич, Жетесова Гульнара Сантаевна, Белецкий Андрей Александрович

МПК: C23C 14/35

Метки: магнетронная, распылительная, цилиндрическая, система

Формула / Реферат:

Настоящее изобретение относиться к области нанесения покрытий распыле­нием металлов с использованием скрещенных магнитного и электрического по­лей, более конкретно, к распылению с помощью магнетрона.Магнетронная распылительная система, содержащая мишень- катод,выполненный в форме трубы с радиусом сечения R, камеру-анод, маг­нитную систему, включающую магнитопровод и постоянные магниты, отли­чающуюся тем, что форма магнитов в поперечном сечении...

Номер патента: 11738

Опубликовано: 16.08.2004

Авторы: Тулеушев Адил Жианшахович, Лисицын Владимир Николаевич, Асанов Александр Бикетович, Тулеушев Юрий Жианшахович, Володин Валерий Николаевич, Ким Светлана Николаевна

МПК: C23C 14/50, C23C 14/35

Метки: покрытий, нанесения, установка

Формула / Реферат:

Изобретение относится к области аппаратурного оформления технологий нанесения покрытий, различных по назначению и составу, и может быть исполь­зовано в машиностроении, электронной, электротехнической, медицинской и дру­гих отраслях промышленности.Технический результат изобретения заключается в обеспечении технологиче­ской возможности формирования покрытий при низких температурах.Установка для нанесения покрытий включает вакуумную камеру,...

Номер патента: 12751

Опубликовано: 05.05.2004

Авторы: Володин Валерий Николаевич, Тулеушев Адил Жианшахович, Ким Светлана Николаевна, Тулеушев Юрий Жианшахович, Лисицын Владимир Николаевич

МПК: C23C 14/35, C23C 14/38

Метки: напыления, установка, покрытий

Формула / Реферат:

Изобретение относится к области изготовления покрытий из металлов на изделиях различного назначения и может быть использовано в электротехнической, радиотехнической, ювелирной и других отраслях промышленности. Технический результат изобретения заключается в формировании упрочненных покрытий по всей поверхности подложек, включая тыльную сторону. Установка для напыления покрытий включает вакуумную камеру, распылители мишеней-катодов с анодными...

Номер патента: 12750

Опубликовано: 05.05.2004

Авторы: Ким Светлана Николаевна, Тулеушев Адил Жианшахович, Володин Валерий Николаевич, Тулеушев Юрий Жианшахович, Лисицын Владимир Николаевич

МПК: C23C 14/35, C23C 14/16, C23C 14/38...

Метки: сплавов, способ, покрытия, драгоценных, формирования, металлов

Формула / Реферат:

Изобретение относится к областиизготовления покрытий из драгоценных металловна изделиях различного назначения и может бытьиспользовано в ювелирной, электротехнической,радиотехнической и других отрасляхпромышленности. Технический результатизобретения заключается в повышенииизносостойкости покрытия из драгоценныхметаллов и их сплавов. Способ формированияпокрытия из драгоценных металлов и их сплавоввключает предварительное ионное травлениеподложки,...

Номер патента: 13258

Опубликовано: 15.04.2004

Авторы: Тулеушев Адил Жианшахович, Володин Валерий Николаевич, Тулеушев Юрий Жианшахович

МПК: C23C 14/14, C22C 1/00, C22C 1/10...

Метки: соединений, синтеза, способ, интерметаллических

Формула / Реферат:

Изобретение относится к области полученияинтерметаллических соединений, напримерсверхпроводящих, используемых вэлектротехнической, радиотехнической,медицинской и других отраслях промышленности.Способ синтеза интерметаллических соединений,например сверхпроводящих, включающем совместноеосаждение металлов на подложку, в которомсовместное осаждение металлов ведут путемионно-плазменного распыления мишеней изисходных металлов с получением...

Номер патента: 12752

Опубликовано: 16.02.2004

Авторы: Володин Валерий Николаевич, Тулеушев Юрий Жианшахович, Тулеушев Адил Жианшахович

МПК: H01J 25/50, C23C 14/35

Метки: магнетрон

Формула / Реферат:

Изобретение относится к области нанесения покрытий, различных по назначению и составу, а именно - к устройствам ионно-плазменного распыления в скрещенных магнитном и электрических полях, и может быть использовано в машиностроении, оптике, электронной, электротехнической, медицинской и других отраслях промышленности. Магнетрон включает мишень-катод, цилиндрический анод, выполненный полым, установленный на диэлектрическом держателе и имеющий...

Номер патента: 11115

Опубликовано: 14.11.2003

Авторы: Асанов Александр Бикетович, Тулеушев Адил Жианшахович, Володин Валерий Николаевич, Ким Светлана Николаевна, Тулеушев Юрий Жианшахович, Лисицын Владимир Николаевич

МПК: C23C 14/56, C23C 14/35

Метки: широкую, установка, покрытий, нанесения, ленту

Формула / Реферат:

Изобретение относится к области нанесения покрытий, различных по назначению и составу, и может быть использовано в машиностроении, электронной, электротехнической, медицинской и других отраслях промышленности.Установка для нанесения покрытий на широкую ленту включает вакуумную камеру, по меньшей мере, два магнетронных распылителя, системы эвакуации, подачи и регулирования расхода газа, устройство для перемещения ленты в виде вращающейся закрытой...

Номер патента: 10564

Опубликовано: 17.03.2003

Авторы: Ким Светлана Николаевна, Асанов Александр Бикетович, Володин Валерий Николаевич, Лисицын Владимир Николаевич, Тулеушев Адил Жианшахович, Тулеушев Юрий Жианшахович

МПК: C23C 14/35, B21D 33/00, C23C 14/56...

Метки: получения, бериллийсодержащей, фольги, бериллиевой, устройство, способ, осуществления

Формула / Реферат:

Изобретение относится к области изготовления самонесущих тонких пленок, в частности, к способам и устройствам для получения бериллиевой и бериллийсодержащей фольги, используемых для окон при регистрации низкоэнергетических излучений, и может найти применение в прикладной физике, машиностроении, при обработке металлов и в дру­гих отраслях промышленности.Способ получения бериллиевой и бериллийсодержащей фольги включает нанесение на подготовленную...

Номер патента: 8312

Опубликовано: 17.02.2003

Авторы: Тулеушев Адил Жианшахович, Тулеушев Юрий Жианшахович, Ким Светлана Николаевна, Володин Валерий Николаевич

МПК: H01J 37/34, H01J 23/04, C23C 14/35...

Метки: распылительное, магнетронное, устройство

Формула / Реферат:

Изобретение относится к области нанесения покрытий, различных по назначению и составу, а именно к устройствам ионно-плазменного распыления в скрещенных магнитном и электрическом полях, и может быть использовано в машиностроении, электронной, электротехнической, медицинской промышленности, оптике, а также при очистке поверхности металлических лент, полос и других изделий подобной формы.Магнетронное распылительное устройство включает катод,...

Номер патента: 10214

Опубликовано: 15.01.2003

Автор: Тулеушев Юрий Жианшахович

МПК: B21D 33/00, C23C 14/35

Метки: фольги, бериллийсодержащей, бериллиевой, получения, способ

Формула / Реферат:

Изобретение относится к области изготовления самонесущих тонких пленок - фольг, используемых для окон при регистрации низкоэнергетических излучений, и мо­жет быть использовано в прикладной физике, при обработке металлов и в других отра­слях промышленности.Способ получения бериллиевой и бериллийсодержащей фольги включает нане­сение на подготовленную подложку слоя, препятствующего диффузии материала фоль­ги в подложку, последующее многостадийное...

Номер патента: 10452

Опубликовано: 16.09.2002

Авторы: Асанов Александр Бикетович, Тулеушев Адил Жианшахович, Лисицын Владимир Николаевич, Ким Светлана Николаевна, Володин Валерий Николаевич, Тулеушев Юрий Жианшахович

МПК: C23C 14/06, C23C 14/35

Метки: ниобия, покрытия, проводника, пленочного, формирования, нитрида, способ, сверхпроводящего, основе

Формула / Реферат:

Изобретение относится к области получения сверхпроводящих соединений и изготовления проводников на их основе и может быть использовано в электро­технической, радиотехнической, медицинской и других отраслях промышленно­сти.Технический результат изобретения заключается в расширении технологиче­ских возможностей способа формирования сверхпроводящего пленочного покры­тия из нитрида ниобия и проводника.Способ формирования сверхпроводящего плёночного...

Номер патента: 3502

Опубликовано: 10.06.1996

Авторы: Манаков Сергей Михайлович, Дрюков Валерий Густавович, Таурбаев Тохтар Искатаевич

МПК: C23C 14/35

Метки: магнетронное, распылительное, устройство

Формула / Реферат:

Изобретение относится к распылительным устройствам магнетронного типа и предназначено для осаждения металлических, диэлектрических и полупроводниковых пленок в микроэлектронике, машиностроении и других отраслях промышленности. Цель изобретения - расширение эксплуатационных возможностей.Магнетронное распылительное устройство содержит соосно установленные n-электрически независимых катодных узлов с мишениями, каждая из которых подключена к фазе...