H01J 37/34 — работающие с катодным распылением

Номер патента: 8312

Опубликовано: 17.02.2003

Авторы: Тулеушев Адил Жианшахович, Тулеушев Юрий Жианшахович, Ким Светлана Николаевна, Володин Валерий Николаевич

МПК: H01J 23/04, H01J 37/34, C23C 14/35...

Метки: распылительное, магнетронное, устройство

Формула / Реферат:

Изобретение относится к области нанесения покрытий, различных по назначению и составу, а именно к устройствам ионно-плазменного распыления в скрещенных магнитном и электрическом полях, и может быть использовано в машиностроении, электронной, электротехнической, медицинской промышленности, оптике, а также при очистке поверхности металлических лент, полос и других изделий подобной формы.Магнетронное распылительное устройство включает катод,...