H01J 23/04 — катоды

Номер патента: 8312

Опубликовано: 17.02.2003

Авторы: Тулеушев Юрий Жианшахович, Володин Валерий Николаевич, Ким Светлана Николаевна, Тулеушев Адил Жианшахович

МПК: C23C 14/35, H01J 23/04, H01J 37/34...

Метки: магнетронное, устройство, распылительное

Формула / Реферат:

Изобретение относится к области нанесения покрытий, различных по назначению и составу, а именно к устройствам ионно-плазменного распыления в скрещенных магнитном и электрическом полях, и может быть использовано в машиностроении, электронной, электротехнической, медицинской промышленности, оптике, а также при очистке поверхности металлических лент, полос и других изделий подобной формы.Магнетронное распылительное устройство включает катод,...