Патенты с меткой «магнетронное»

Номер патента: 12436

Опубликовано: 14.10.2005

Авторы: Володин Валерий Николаевич, Тулеушев Юрий Жианшахович, Тулеушев Адил Жианшахович, Ким Светлана Николаевна, Лисицын Владимир Николаевич

МПК: C23C 14/34, H01L 39/12

Метки: магнетронное, устройство, пленочного, формирования, покрытия, осуществления, способ

Формула / Реферат:

Изобретение относится к области нанесения покрытий, в том числе сверхпроводящих, различных по назначению и составу, и может быть использова­но в машиностроении, электронной, электротехнической, медицинской и других отраслях промышленности.Достигаемый изобретением технический результат - предотвращение откло­нений состава покрытия от состава многокомпонентных мишеней.Способ формирования пленочного покрытия включает магнетронное распы­ление...

Номер патента: 8312

Опубликовано: 17.02.2003

Авторы: Володин Валерий Николаевич, Ким Светлана Николаевна, Тулеушев Юрий Жианшахович, Тулеушев Адил Жианшахович

МПК: H01J 37/34, C23C 14/35, H01J 23/04...

Метки: магнетронное, устройство, распылительное

Формула / Реферат:

Изобретение относится к области нанесения покрытий, различных по назначению и составу, а именно к устройствам ионно-плазменного распыления в скрещенных магнитном и электрическом полях, и может быть использовано в машиностроении, электронной, электротехнической, медицинской промышленности, оптике, а также при очистке поверхности металлических лент, полос и других изделий подобной формы.Магнетронное распылительное устройство включает катод,...

Номер патента: 6391

Опубликовано: 15.06.2000

Автор: Тулеушев Юрий Жианшахович

МПК: B01J 19/12, B01D 53/32

Метки: магнетронное, устройство, инертных, газов, очистки

Формула / Реферат:

Изобретение относится к области устройств для подготовки рабочего инертного газа, в частности аргона, для ионноплазменного распыления и может быть использовано при нанесении защитных покрытий в машиностроении, электронной технике, медицинской промышленности, оптике, а также при нанесении декоративных покрытий на ювелирные, часовые и другие изделия.Технический результат изобретения - повышение эффективности очистки инертных газов, в частности...

Номер патента: 3502

Опубликовано: 10.06.1996

Авторы: Дрюков Валерий Густавович, Таурбаев Тохтар Искатаевич, Манаков Сергей Михайлович

МПК: C23C 14/35

Метки: магнетронное, устройство, распылительное

Формула / Реферат:

Изобретение относится к распылительным устройствам магнетронного типа и предназначено для осаждения металлических, диэлектрических и полупроводниковых пленок в микроэлектронике, машиностроении и других отраслях промышленности. Цель изобретения - расширение эксплуатационных возможностей.Магнетронное распылительное устройство содержит соосно установленные n-электрически независимых катодных узлов с мишениями, каждая из которых подключена к фазе...