Магнетронное устройство для очистки инертных газов

Номер патента: 6391

Опубликовано: 15.06.2000

Автор: Тулеушев Юрий Жианшахович

Формула / Реферат

Изобретение относится к области устройств для подготовки рабочего инертного газа, в частности аргона, для ионноплазменного распыления и может быть использовано при нанесении защитных покрытий в машиностроении, электронной технике, медицинской промышленности, оптике, а также при нанесении декоративных покрытий на ювелирные, часовые и другие изделия.
Технический результат изобретения - повышение эффективности очистки инертных газов, в частности аргона, от химически активных примесей.
Устройство для очистки аргона в виде магнито-разрядного насоса содержит корпус, распыляемые и водоохлаждаемые электроды и магнитную систему.
Распыление материала катода осуществляется в скрещенных электрическом и магнитном полях, причем цилиндрический анод отделен от корпуса установленным на катодной части изолирующим стаканом, внутри которого осесимметричным образом расположен установленный на аноде на проводящих стойках цилиндрический проводящий диск.

МПК / Метки

МПК: B01D 53/32, B01J 19/12

Метки: магнетронное, очистки, газов, инертных, устройство

Код ссылки

<a href="https://kz.patents.su/0-6391-magnetronnoe-ustrojjstvo-dlya-ochistki-inertnyh-gazov.html" rel="bookmark" title="База патентов Казахстана">Магнетронное устройство для очистки инертных газов</a>

Похожие патенты