Устройство для магнетронного получения нитридных, карбидных и карбонитридных покрытий
Номер патента: 2675
Опубликовано: 16.06.1997
Авторы: Тулеушев Адил Жианшахович, Мухамедшин Ирек Шамильевич, Ким Светлана Николаевна
Формула / Реферат
Изобретение относится к области нанесения износостойких и защитных покрытий
в вакууме, а именно к устройствам ионно-плазменного распыления в скрещенных электрическом и магнитном полях и может быть использовано в машиностроении, медицинской промышленности, оптике, а такие при нанесении декоративных покрытий на ювелирные, часовые и другие изделия.
Устройство для магнетронного получения нитридных, карбидных и карбонитритных покрытий содержит катод, мишень, закрепленную на катоде посредством держателя, магнитную систему, расположенную с нерабочей стороны мишени, патрубок подать рабочего газа и цилиндрический анод, который установлен осесимметрично сверху рабочей поверхности мишени, снабжен выполненным соосно в верхней части анода кольцевым соплом и полостью, соединенной с патрубком подачи рабочего газа, причем полость анода соединена с кольцевым соплом посредством винтового желоба, на внешнем краю анода выполнена цилиндрическая проточка, а между анодом и держателем мишени расположена изолирующая цилиндрическая втулка.
Технический результат от применения предлагаемого устройства состоит в повышении качества покрытий из нитридов, карбидов и карбонитридных материалов..
МПК / Метки
МПК: C23C 14/36
Метки: устройство, карбонитридных, покрытий, получения, нитридных, карбидных, магнетронного
Код ссылки
<a href="https://kz.patents.su/0-2675-ustrojjstvo-dlya-magnetronnogo-polucheniya-nitridnyh-karbidnyh-i-karbonitridnyh-pokrytijj.html" rel="bookmark" title="База патентов Казахстана">Устройство для магнетронного получения нитридных, карбидных и карбонитридных покрытий</a>
Предыдущий патент: Катализатор для гидрирования фурфурола
Следующий патент: Способ формирования секционных зарядов (варианты)
Случайный патент: Устройство для контроля качества электросварки на корпусах для изготовления банок