Патенты с меткой «магнетронного»
Способ получения углеродных наноструктур путем магнетронного реактивного распыления графита в возгоняемых парах ароматических углеводородов
Номер инновационного патента: 29012
Опубликовано: 15.10.2014
Авторы: Байтимбетова Багила Абдисаматовна, Верменичев Борис Михайлович
МПК: B82B 3/00
Метки: получения, парах, углеводородов, графита, распыления, способ, магнетронного, углеродных, путем, возгоняемых, ароматических, реактивного, наноструктур
Формула / Реферат:
Изобретение относится к способам получения углеродных наноструктур, таких как углеродные нанотрубки, нанонити и графеновые структуры, которые могут быть использованы в наноэлектронике в качестве частей электронных схем и приборов.В способе получения углеродных наноструктур путем реактивного магнетронного распыления с ароматическими углеводородами, таких как нафталин, фенантрен, антрацен и др.Предложенным способом получены углеродные...
Устройство для магнетронного получения нитридных, карбидных и карбонитридных покрытий
Номер патента: 2675
Опубликовано: 16.06.1997
Авторы: Ким Светлана Николаевна, Мухамедшин Ирек Шамильевич, Тулеушев Адил Жианшахович
МПК: C23C 14/36
Метки: нитридных, магнетронного, карбидных, устройство, карбонитридных, покрытий, получения
Формула / Реферат:
Изобретение относится к области нанесения износостойких и защитных покрытий в вакууме, а именно к устройствам ионно-плазменного распыления в скрещенных электрическом и магнитном полях и может быть использовано в машиностроении, медицинской промышленности, оптике, а такие при нанесении декоративных покрытий на ювелирные, часовые и другие изделия.Устройство для магнетронного получения нитридных, карбидных и карбонитритных покрытий содержит катод,...