Патенты с меткой «распылительное»

Номер патента: 8312

Опубликовано: 17.02.2003

Авторы: Тулеушев Юрий Жианшахович, Тулеушев Адил Жианшахович, Володин Валерий Николаевич, Ким Светлана Николаевна

МПК: H01J 23/04, C23C 14/35, H01J 37/34...

Метки: устройство, распылительное, магнетронное

Формула / Реферат:

Изобретение относится к области нанесения покрытий, различных по назначению и составу, а именно к устройствам ионно-плазменного распыления в скрещенных магнитном и электрическом полях, и может быть использовано в машиностроении, электронной, электротехнической, медицинской промышленности, оптике, а также при очистке поверхности металлических лент, полос и других изделий подобной формы.Магнетронное распылительное устройство включает катод,...

Номер патента: 3502

Опубликовано: 10.06.1996

Авторы: Таурбаев Тохтар Искатаевич, Дрюков Валерий Густавович, Манаков Сергей Михайлович

МПК: C23C 14/35

Метки: магнетронное, распылительное, устройство

Формула / Реферат:

Изобретение относится к распылительным устройствам магнетронного типа и предназначено для осаждения металлических, диэлектрических и полупроводниковых пленок в микроэлектронике, машиностроении и других отраслях промышленности. Цель изобретения - расширение эксплуатационных возможностей.Магнетронное распылительное устройство содержит соосно установленные n-электрически независимых катодных узлов с мишениями, каждая из которых подключена к фазе...