Дрюков Валерий Густавович
Магнетронное распылительное устройство
Номер патента: 3502
Опубликовано: 10.06.1996
Авторы: Таурбаев Тохтар Искатаевич, Манаков Сергей Михайлович, Дрюков Валерий Густавович
МПК: C23C 14/35
Метки: магнетронное, устройство, распылительное
Формула / Реферат:
Изобретение относится к распылительным устройствам магнетронного типа и предназначено для осаждения металлических, диэлектрических и полупроводниковых пленок в микроэлектронике, машиностроении и других отраслях промышленности. Цель изобретения - расширение эксплуатационных возможностей.Магнетронное распылительное устройство содержит соосно установленные n-электрически независимых катодных узлов с мишениями, каждая из которых подключена к фазе...