Манаков Сергей Михайлович

Номер патента: 3502

Опубликовано: 10.06.1996

Авторы: Манаков Сергей Михайлович, Таурбаев Тохтар Искатаевич, Дрюков Валерий Густавович

МПК: C23C 14/35

Метки: устройство, распылительное, магнетронное

Формула / Реферат:

Изобретение относится к распылительным устройствам магнетронного типа и предназначено для осаждения металлических, диэлектрических и полупроводниковых пленок в микроэлектронике, машиностроении и других отраслях промышленности. Цель изобретения - расширение эксплуатационных возможностей.Магнетронное распылительное устройство содержит соосно установленные n-электрически независимых катодных узлов с мишениями, каждая из которых подключена к фазе...

Номер предварительного патента: 3009

Опубликовано: 15.03.1996

Авторы: Таурбаев Токтар Искатаевич, Манаков Сергей Михайлович, Бекк Валерий Густавович, Сванбаев Елдос Абугалиевич

МПК: H01L 31/08

Метки: спектральный, детектор, твердотельный

Формула / Реферат:

Предлагаемое изобретение относится к детекторам спектрального состава излучения и предназначено для идентификации различных спектров и определения отклонения спектра от исходного.Предложен твердотельный спектральный детектор, содержащий не менее двух полупроводниковых фоточувствительных структур, расположенных друг над другом и не менее двух полупроводниковых фоточувствительных структур с разными спектральными характеристиками, расположенных...

Номер патента: 2571

Опубликовано: 15.09.1995

Авторы: Таурбаев Тохтар Искатаевич, Манаков Сергей Михайлович

МПК: H01L 31/20

Метки: фотоприемник

Формула / Реферат:

Изобретение относятся к фотоприемникам на основе аморфного гидрогенизированного кремния и предназначено для использования в фотометрических устройствах видимого спектрального диапазона. Цель изобретения - уменьшение температурного коэффициента фототока. Фотоприемник выполнен на основе аморфного гидрогенизированного кремния толщиной 0,5 мкм, содержит область собирания, фронтальный прозрачный контакт из SпO2, потенциальный барьер и зеркальный...