Патенты с меткой «магнетронная»

Номер инновационного патента: 31313

Опубликовано: 30.06.2016

Авторы: Солонуха Артем Сергеевич, Белецкий Андрей Александрович, Жетесова Гульнара Сантаевна, Юрченко Василий Викторович, Уалиев Дани Шайтмахметович

МПК: C23C 14/35

Метки: система, распылительная, магнетронная, цилиндрическая

Формула / Реферат:

Настоящее изобретение относиться к области нанесения покрытий распыле­нием металлов с использованием скрещенных магнитного и электрического по­лей, более конкретно, к распылению с помощью магнетрона.Магнетронная распылительная система, содержащая мишень- катод,выполненный в форме трубы с радиусом сечения R, камеру-анод, маг­нитную систему, включающую магнитопровод и постоянные магниты, отли­чающуюся тем, что форма магнитов в поперечном сечении...