Солонуха Артем Сергеевич

Номер инновационного патента: 31313

Опубликовано: 30.06.2016

Авторы: Белецкий Андрей Александрович, Жетесова Гульнара Сантаевна, Солонуха Артем Сергеевич, Уалиев Дани Шайтмахметович, Юрченко Василий Викторович

МПК: C23C 14/35

Метки: магнетронная, система, распылительная, цилиндрическая

Формула / Реферат:

Настоящее изобретение относиться к области нанесения покрытий распыле­нием металлов с использованием скрещенных магнитного и электрического по­лей, более конкретно, к распылению с помощью магнетрона.Магнетронная распылительная система, содержащая мишень- катод,выполненный в форме трубы с радиусом сечения R, камеру-анод, маг­нитную систему, включающую магнитопровод и постоянные магниты, отли­чающуюся тем, что форма магнитов в поперечном сечении...

Номер инновационного патента: 31312

Опубликовано: 30.06.2016

Авторы: Юрченко Василий Викторович, Уалиев Дани Шайтмахметович, Жетесова Гульнара Сантаевна, Белецкий Андрей Александрович, Солонуха Артем Сергеевич

МПК: B05B 15/12, C23C 14/22

Метки: нанесения, вакуумная, покрытий, камера, установки

Формула / Реферат:

Настоящее изобретение относиться к вакуумной технике, а именно к каме­рам для покрытия деталей механизмов и машин ионно-плазменным методом.В соответствии с изобретением эта задача решается за счет, того что заяв- леннаявакуумная камера для установки нанесения покрытий, характеризую­щаяся тем, что она содержит каркас и две двери, которые формируют цилинд­рическую форму камеры с диаметром D и высотой Н,верхнюю и нижнюю крышки, причемфункциональные...