C23C 14/22 — характеризуемые способом покрытия

Вакуумная камера установки для нанесения покрытий

Загрузка...

Номер инновационного патента: 31312

Опубликовано: 30.06.2016

Авторы: Солонуха Артем Сергеевич, Белецкий Андрей Александрович, Юрченко Василий Викторович, Уалиев Дани Шайтмахметович, Жетесова Гульнара Сантаевна

МПК: B05B 15/12, C23C 14/22

Метки: вакуумная, покрытий, нанесения, камера, установки

Формула / Реферат:

Настоящее изобретение относиться к вакуумной технике, а именно к каме­рам для покрытия деталей механизмов и машин ионно-плазменным методом.В соответствии с изобретением эта задача решается за счет, того что заяв- леннаявакуумная камера для установки нанесения покрытий, характеризую­щаяся тем, что она содержит каркас и две двери, которые формируют цилинд­рическую форму камеры с диаметром D и высотой Н,верхнюю и нижнюю крышки, причемфункциональные...

Устройство и способ для нанесения покрытия на подложку

Загрузка...

Номер патента: 22226

Опубликовано: 15.01.2010

Авторы: БАТИСТ, Лоран, Кристоф, Бернар, СХАДЕ ВАН ВЕСТРЮМ, Йоханнес, Альфонсус, Франсискус Мария, ГЛЕЙМ, Герардус

МПК: C23C 14/26, C23C 14/24, C23C 14/22...

Метки: нанесения, подложку, способ, устройство, покрытия

Формула / Реферат:

Изобретение относится к устройству для нанесения покрытия на подложку с использованием физического осаждения из паровой фазы содержащему вакуумную камеру, в которой размещена катушка (1) для удержания некоторого количества проводящего материала (10) в состоянии левитации и для нагревания и испарения этого материала при использовании переменного электрического тока в катушке, при этом в катушке размещены средства (3) для изоляции катушки от...