C23C 14/24 — вакуумное испарение

Номер инновационного патента: 24565

Опубликовано: 15.09.2011

Авторы: Тулеушев Юрий Жианшахович, Тулеушев Адил Жианшахович, Жаканбаев Елдар Асхатович, Володин Валерий Николаевич, Федосимов Евгений Олегович

МПК: C23C 14/24, C23C 14/34

Метки: способ, бериллиевой, фольги, изготовления, ультратонкой

Формула / Реферат:

Изобретение относится к области изготовления самонесущих тонких пленок, в частности, к способам получения бериллиевой фольги, используемых для окон, при регистрации низкоэнергетических излучений, и может найти применение в прикладной физике, при обработке металлов и в других отраслях промышленности.Способ изготовления ультратонкой фольги включает осаждение полученного магнетронным распылением мишени бериллия на подготовленную поверхность и...

Номер инновационного патента: 24564

Опубликовано: 15.09.2011

Авторы: Тулеушев Юрий Жианшахович, Тулеушев Адил Жианшахович, Володин Валерий Николаевич

МПК: C23C 14/24, C23C 14/34

Метки: изготовления, способ, ферромагнетиком, биметаллической, фольги

Формула / Реферат:

Изобретение относится к области изготовления самонесущих тонких пленок, в частности, к способам получения биметаллической фольги, одним из металлов которой является железо, никель или кобальт, использующейся в прикладной физике, и может найти применение в машиностроении, при обработке металлов и в других отраслях промышленности.Способ изготовления металлической фольги включает осаждение металла, полученного магнетронным распылением металлической...

Номер патента: 22226

Опубликовано: 15.01.2010

Авторы: БАТИСТ, Лоран, Кристоф, Бернар, СХАДЕ ВАН ВЕСТРЮМ, Йоханнес, Альфонсус, Франсискус Мария, ГЛЕЙМ, Герардус

МПК: C23C 14/22, C23C 14/24, C23C 14/26...

Метки: нанесения, покрытия, способ, устройство, подложку

Формула / Реферат:

Изобретение относится к устройству для нанесения покрытия на подложку с использованием физического осаждения из паровой фазы содержащему вакуумную камеру, в которой размещена катушка (1) для удержания некоторого количества проводящего материала (10) в состоянии левитации и для нагревания и испарения этого материала при использовании переменного электрического тока в катушке, при этом в катушке размещены средства (3) для изоляции катушки от...

Номер патента: 11856

Опубликовано: 15.04.2003

Авторы: Ким Светлана Николаевна, Тулеушев Юрий Жианшахович, Тулеушев Адил Жианшахович, Володин Валерий Николаевич, Асанов Александр Бикетович, Лисицын Владимир Николаевич

МПК: C23C 14/34, C23C 14/24

Метки: бериллиевой, способ, фольги, получения

Формула / Реферат:

Изобретение относится к области изготовления самонесущих тонких пленок, в частности, к способам получения бериллиевой фольги, используемой для окон при регистрации низкоэнергетических излучений, и может найти применение в прикладной физике, при обработке металлов и в других отраслях промышленности.Способ получения бериллиевой фольги включает нанесение на подготовленную поверхность подложки подслоя, препятствующего диффузии материала фольги в...