Федосимов Евгений Олегович
Способ изготовления ультратонкой бериллиевой фольги
Номер инновационного патента: 24565
Опубликовано: 15.09.2011
Авторы: Тулеушев Юрий Жианшахович, Тулеушев Адил Жианшахович, Володин Валерий Николаевич, Федосимов Евгений Олегович, Жаканбаев Елдар Асхатович
МПК: C23C 14/24, C23C 14/34
Метки: ультратонкой, изготовления, бериллиевой, способ, фольги
Формула / Реферат:
Изобретение относится к области изготовления самонесущих тонких пленок, в частности, к способам получения бериллиевой фольги, используемых для окон, при регистрации низкоэнергетических излучений, и может найти применение в прикладной физике, при обработке металлов и в других отраслях промышленности.Способ изготовления ультратонкой фольги включает осаждение полученного магнетронным распылением мишени бериллия на подготовленную поверхность и...