Патенты с меткой «ультратонкой»
Способ изготовления ультратонкой бериллиевой фольги
Номер инновационного патента: 24565
Опубликовано: 15.09.2011
Авторы: Жаканбаев Елдар Асхатович, Тулеушев Адил Жианшахович, Федосимов Евгений Олегович, Тулеушев Юрий Жианшахович, Володин Валерий Николаевич
МПК: C23C 14/24, C23C 14/34
Метки: способ, изготовления, ультратонкой, бериллиевой, фольги
Формула / Реферат:
Изобретение относится к области изготовления самонесущих тонких пленок, в частности, к способам получения бериллиевой фольги, используемых для окон, при регистрации низкоэнергетических излучений, и может найти применение в прикладной физике, при обработке металлов и в других отраслях промышленности.Способ изготовления ультратонкой фольги включает осаждение полученного магнетронным распылением мишени бериллия на подготовленную поверхность и...