C23C 14/26 — с использованием источника резистивного или индуктивного нагрева
Устройство и способ для нанесения покрытия на подложку
Номер патента: 22226
Опубликовано: 15.01.2010
Авторы: СХАДЕ ВАН ВЕСТРЮМ, Йоханнес, Альфонсус, Франсискус Мария, ГЛЕЙМ, Герардус, БАТИСТ, Лоран, Кристоф, Бернар
МПК: C23C 14/22, C23C 14/26, C23C 14/24...
Метки: нанесения, подложку, покрытия, устройство, способ
Формула / Реферат:
Изобретение относится к устройству для нанесения покрытия на подложку с использованием физического осаждения из паровой фазы содержащему вакуумную камеру, в которой размещена катушка (1) для удержания некоторого количества проводящего материала (10) в состоянии левитации и для нагревания и испарения этого материала при использовании переменного электрического тока в катушке, при этом в катушке размещены средства (3) для изоляции катушки от...