H01J 25/50 — магнетроны, т.е. приборы с магнитной системой, создающей магнитное поле, пересекающее электрическое поле

Номер патента: 12752

Опубликовано: 16.02.2004

Авторы: Тулеушев Адил Жианшахович, Тулеушев Юрий Жианшахович, Володин Валерий Николаевич

МПК: C23C 14/35, H01J 25/50

Метки: магнетрон

Формула / Реферат:

Изобретение относится к области нанесения покрытий, различных по назначению и составу, а именно - к устройствам ионно-плазменного распыления в скрещенных магнитном и электрических полях, и может быть использовано в машиностроении, оптике, электронной, электротехнической, медицинской и других отраслях промышленности. Магнетрон включает мишень-катод, цилиндрический анод, выполненный полым, установленный на диэлектрическом держателе и имеющий...