Патенты с меткой «широкую»

Номер патента: 11115

Опубликовано: 14.11.2003

Авторы: Володин Валерий Николаевич, Лисицын Владимир Николаевич, Тулеушев Юрий Жианшахович, Асанов Александр Бикетович, Ким Светлана Николаевна, Тулеушев Адил Жианшахович

МПК: C23C 14/35, C23C 14/56

Метки: установка, нанесения, покрытий, широкую, ленту

Формула / Реферат:

Изобретение относится к области нанесения покрытий, различных по назначению и составу, и может быть использовано в машиностроении, электронной, электротехнической, медицинской и других отраслях промышленности.Установка для нанесения покрытий на широкую ленту включает вакуумную камеру, по меньшей мере, два магнетронных распылителя, системы эвакуации, подачи и регулирования расхода газа, устройство для перемещения ленты в виде вращающейся закрытой...