C23C 14/56 — устройства, специально приспособленные для непрерывного процесса покрытия; приспособления для поддержания вакуума, например вакуумные затворы

Номер патента: 23899

Опубликовано: 15.04.2011

Авторы: ГРАМЕР, Андреас, КЮММЕЛЬ, Лутц, КРЕЧМЕР, Маттиас, БЕРЕНС, Хольгер, ЗОЛЬ, Ральф - Хартмут, ДЕ КОК, Петер

МПК: B01J 3/00, C23C 14/56, B01J 3/03...

Метки: шлюз, полосы

Формула / Реферат:

Изобретение относится к шлюзу (1) для полосы для герметизации первой камеры (2) относительно второй камеры (3), причем полоса (4), в частности, металлическая полоса, проходит через обе камеры (2, 3), для герметизации которых предусмотрено, по меньшей мере, одно уплотняющее средство (5). Чтобы простым образом достичь хорошего уплотняющего действия, согласно изобретению, предусмотрено, что уплотняющее средство (5) содержит, по меньшей мере, две...

Номер патента: 11115

Опубликовано: 14.11.2003

Авторы: Лисицын Владимир Николаевич, Тулеушев Юрий Жианшахович, Тулеушев Адил Жианшахович, Асанов Александр Бикетович, Ким Светлана Николаевна, Володин Валерий Николаевич

МПК: C23C 14/35, C23C 14/56

Метки: установка, нанесения, ленту, покрытий, широкую

Формула / Реферат:

Изобретение относится к области нанесения покрытий, различных по назначению и составу, и может быть использовано в машиностроении, электронной, электротехнической, медицинской и других отраслях промышленности.Установка для нанесения покрытий на широкую ленту включает вакуумную камеру, по меньшей мере, два магнетронных распылителя, системы эвакуации, подачи и регулирования расхода газа, устройство для перемещения ленты в виде вращающейся закрытой...

Номер патента: 10564

Опубликовано: 17.03.2003

Авторы: Володин Валерий Николаевич, Тулеушев Адил Жианшахович, Ким Светлана Николаевна, Асанов Александр Бикетович, Лисицын Владимир Николаевич, Тулеушев Юрий Жианшахович

МПК: B21D 33/00, C23C 14/35, C23C 14/56...

Метки: бериллийсодержащей, осуществления, бериллиевой, фольги, устройство, способ, получения

Формула / Реферат:

Изобретение относится к области изготовления самонесущих тонких пленок, в частности, к способам и устройствам для получения бериллиевой и бериллийсодержащей фольги, используемых для окон при регистрации низкоэнергетических излучений, и может найти применение в прикладной физике, машиностроении, при обработке металлов и в дру­гих отраслях промышленности.Способ получения бериллиевой и бериллийсодержащей фольги включает нанесение на подготовленную...

Номер патента: 8831

Опубликовано: 15.02.2002

Автор: Асанов Александр Бикетович

МПК: C23C 14/56, C23C 14/34

Метки: покрытий, нанесения, установка

Формула / Реферат:

Изобретение относится к области íàíåñåíèÿ ïîêðûòèé, различных по назначению и составу, и может быть использовано в машиностроении, электронной, электротехнической, медицинской и других отраслях промышленности.Технический результат изобретения заключается в расширении эксплуата­ционных возможностей установки.Это достигается тем, что в установке для нанесения покрытий на ленту, включающем вакуумную камеру, по меньшей мере, один магнетронный...