C23C 14/50 — держатели подложек
Установка для нанесения покрытий
Номер патента: 11738
Опубликовано: 16.08.2004
Авторы: Лисицын Владимир Николаевич, Ким Светлана Николаевна, Асанов Александр Бикетович, Тулеушев Адил Жианшахович, Тулеушев Юрий Жианшахович, Володин Валерий Николаевич
МПК: C23C 14/35, C23C 14/50
Метки: покрытий, нанесения, установка
Формула / Реферат:
Изобретение относится к области аппаратурного оформления технологий нанесения покрытий, различных по назначению и составу, и может быть использовано в машиностроении, электронной, электротехнической, медицинской и других отраслях промышленности.Технический результат изобретения заключается в обеспечении технологической возможности формирования покрытий при низких температурах.Установка для нанесения покрытий включает вакуумную камеру,...