Омаров Марат Ахметович
Способ получения тонкопленочных структур на основе кремния
Номер инновационного патента: 30246
Опубликовано: 17.08.2015
Авторы: Токмолдин Нурлан Серекболович, Клименов Василий Васильевич, Токмолдин Серекбол Жарылгапович, Омаров Марат Ахметович, Чучвага Николай Алексеевич
МПК: C30B 30/04, C30B 29/06, C30B 30/02...
Метки: структур, кремния, основе, получения, способ, тонкопленочных
Формула / Реферат:
Изобретение относится к полупроводниковому приборостроению и солнечной энергетике и может быть использовано при изготовлении полупроводниковых кремниевых структур. Демонстрируется способ оптимизации метода магнетронного распыления для получения тонкопленочных кремниевых структур посредством регулирования разности потенциалов между управляющим катодом и анодом магнетронной установки. Это позволяет варьировать условия осаждения тонких пленок,...
Способ получения монокристаллических углеродных пленок и устройство для его осуществления
Номер предварительного патента: 4275
Опубликовано: 14.03.1997
Авторы: Буранбаев Мэлс Жаканович, Каппаров Кайрат Каппарович, Омаров Марат Ахметович, Таурбаев Тохтар Искатаевич
МПК: C30B 35/00
Метки: углеродных, устройство, получения, способ, монокристаллических, осуществления, пленок
Формула / Реферат:
Изобретение относится к способам получения углеродных пленок, применяемых в обрабатывающей, ювелирной промышленностях, оптике (в том числе рентгеновской) и электронике. Технический результат, достигаемый изобретением, заключается в получении монокристаллических углеродных пленок. Способ получения монокристаллических пленок в вакуумной камере включает получение углеродной плазмы путем распыления катода-мишени из твердого углерода, ускорения ионов...