Чучвага Николай Алексеевич
Способ получения тонкопленочных структур на основе кремния
Номер инновационного патента: 30246
Опубликовано: 17.08.2015
Авторы: Клименов Василий Васильевич, Омаров Марат Ахметович, Токмолдин Нурлан Серекболович, Токмолдин Серекбол Жарылгапович, Чучвага Николай Алексеевич
МПК: C30B 30/02, C30B 29/06, C30B 30/04...
Метки: структур, получения, тонкопленочных, кремния, основе, способ
Формула / Реферат:
Изобретение относится к полупроводниковому приборостроению и солнечной энергетике и может быть использовано при изготовлении полупроводниковых кремниевых структур. Демонстрируется способ оптимизации метода магнетронного распыления для получения тонкопленочных кремниевых структур посредством регулирования разности потенциалов между управляющим катодом и анодом магнетронной установки. Это позволяет варьировать условия осаждения тонких пленок,...