Патенты с меткой «монокристаллических»
Устройство для выращивания свободно расположенных монокристаллических пленочных структур
Номер инновационного патента: 27787
Опубликовано: 18.12.2013
Автор: Антощенко Владимир Степанович
МПК: H01L 21/208
Метки: расположенных, выращивания, пленочных, свободно, структур, монокристаллических, устройство
Формула / Реферат:
Изобретение относится к области технологии полупроводников и может быть использовано для получения монокристаллических полупроводниковых слоев методом жидкостной эпитаксии, в частности, для получения свободно расположенных многослойных тонкопленочных структур.Достигаемый технический результат - выращивание свободно расположенных монокристаллических пленочных структур, содержащих более одного слоя.Предлагается устройство для выращивания свободно...
Способ получения монокристаллических углеродных пленок и устройство для его осуществления
Номер предварительного патента: 4275
Опубликовано: 14.03.1997
Авторы: Таурбаев Тохтар Искатаевич, Омаров Марат Ахметович, Каппаров Кайрат Каппарович, Буранбаев Мэлс Жаканович
МПК: C30B 35/00
Метки: углеродных, монокристаллических, пленок, устройство, способ, осуществления, получения
Формула / Реферат:
Изобретение относится к способам получения углеродных пленок, применяемых в обрабатывающей, ювелирной промышленностях, оптике (в том числе рентгеновской) и электронике. Технический результат, достигаемый изобретением, заключается в получении монокристаллических углеродных пленок. Способ получения монокристаллических пленок в вакуумной камере включает получение углеродной плазмы путем распыления катода-мишени из твердого углерода, ускорения ионов...