Буранбаев Мэлс Жаканович
Способ получения монокристаллических углеродных пленок и устройство для его осуществления
Номер предварительного патента: 4275
Опубликовано: 14.03.1997
Авторы: Омаров Марат Ахметович, Каппаров Кайрат Каппарович, Буранбаев Мэлс Жаканович, Таурбаев Тохтар Искатаевич
МПК: C30B 35/00
Метки: пленок, углеродных, получения, способ, устройство, монокристаллических, осуществления
Формула / Реферат:
Изобретение относится к способам получения углеродных пленок, применяемых в обрабатывающей, ювелирной промышленностях, оптике (в том числе рентгеновской) и электронике. Технический результат, достигаемый изобретением, заключается в получении монокристаллических углеродных пленок. Способ получения монокристаллических пленок в вакуумной камере включает получение углеродной плазмы путем распыления катода-мишени из твердого углерода, ускорения ионов...