Способ получения поликристаллического кремния

Формула / Реферат

Изобретение относится к области химической технологии, а именно, к способам получения поликристаллического кремния.
Задачей изобретения является разработка способа получения поликристаллического кремния.
Способ включает процесс синтеза трихлорсилана из технического кремния в реакторе, путем взаимодействия его с сухим хлористым водородом, последующей очистки парогазовой смеси, водородного восстановления при одновременном осаждении выделяющегося кремния на поверхности нагреваемых кремниевых стержней, согласно предлагаемому способу процесс синтеза трихлорсилана ведут при температуре 270-290 °С.

МПК / Метки

МПК: C01B 33/02, C01B 33/027

Метки: способ, получения, поликристаллического, кремния

Код ссылки

<a href="https://kz.patents.su/0-pp18449-sposob-polucheniya-polikristallicheskogo-kremniya.html" rel="bookmark" title="База патентов Казахстана">Способ получения поликристаллического кремния</a>

Похожие патенты