C01B 33/027 — разложением или восстановлением газообразных или испаряемых соединений кремния, кроме диоксида кремния или материала, содержащего диоксид кремния
Способ получения поликристаллического кремния
Номер предварительного патента: 18449
Опубликовано: 15.05.2007
Авторы: Бияров Телеухан Нуралдаевич, Ажибекова Алия Сапарбековна, Туякбаев Даулет Алтаевич, Туякбаев Альтай Альшерович
МПК: C01B 33/02, C01B 33/027
Метки: кремния, получения, способ, поликристаллического
Формула / Реферат:
Изобретение относится к области химической технологии, а именно, к способам получения поликристаллического кремния.Задачей изобретения является разработка способа получения поликристаллического кремния.Способ включает процесс синтеза трихлорсилана из технического кремния в реакторе, путем взаимодействия его с сухим хлористым водородом, последующей очистки парогазовой смеси, водородного восстановления при одновременном осаждении выделяющегося...