G01J 5/58 — с использованием поглощения; поляризации; затухания света

Номер полезной модели: 477

Опубликовано: 15.04.2009

Авторы: Чередниченко Дмитрий Иванович, Лебедев Георгий Александрович, Малюков Сергей Павлович, Скубилин Михаил Демьянович

МПК: G05B 23/02, G01J 5/58

Метки: расплава, направленной, сапфира, кристаллизации, установка

Формула / Реферат:

Установка направленной кристаллизации расплава сапфира относится к автоматическим технологическим средствам, а в частности - к средствам автоматической направленной кристаллизации полупроводников в технологии микро-и нано- электронной аппаратуры.Установка содержит вакуумную камеру, теплоизоляционную камеру, размещенную в вакуумной камере, блок электрического питания, блок управления, датчики глубины вакуума и температуры, источник тепловой...

Номер предварительного патента: 18654

Опубликовано: 16.07.2007

Авторы: Письменов Александр Владимирович, Скубилин Игорь Михайлович, Письменов Дмитрий Александрович, Скубилин Михаил Демьянович

МПК: G01J 5/58, H01L 21/66

Метки: пирометр

Формула / Реферат:

Изобретение относится к информационно-измерительной и вычислительной технике, а в частности к средствам бесконтактного измерения температуры поверхности нагретых тел, в т.ч. полупроводниковых пластин в технологических установках, изделий из металлов, керамики, пластмасс при их термообработке, расплавов металлов в металлургии.Пирометр содержит вход излучений нагретого тела, селективный датчик излучений нагретого тела, выполненный на приборах с...

Номер предварительного патента: 12122

Опубликовано: 15.10.2002

Авторы: Скубилин Игорь Михайлович, Скубилин Михаил Демьянович, Письменов Александр Владимирович, Письменов Дмитрий Александрович

МПК: G01J 5/58, H01L 21/66

Метки: пирометр

Формула / Реферат:

Изобретение относится к информационно-измерительной и вычислительной технике, а в частности к средствам бесконтактного измерения температуры нагретых тел, в т. ч. полупроводниковых пластин в технологических установках, изделий из металлов, керамики и пластмасс при их термообработке, расплавов металлов в металлургии и т. д.Пирометр включает вход из вещества прозрачного в диапазоне используемых длин волн теплового излучения, два фотоэлектрических...

Номер предварительного патента: 11750

Опубликовано: 15.07.2002

Авторы: Скубилин Михаил Демьянович, Авраменко Анатолий Васильевич, Письменов Александр Владимирович

МПК: G01J 5/58, H01L 21/66

Метки: измерения, бесконтактного, температуры, способ

Формула / Реферат:

Изобретение относится к бесконтактным методам измерения температуры по тепловому излучению и может быть использовано для определения температуры поверхности нагретых объектов, в частности, полупроводниковых пластин в технологических установках, сварных швов, гибов труб при их термообработке, расплавов веществ и т.д.В способе бесконтактного измерения температуры, включающем прием теплового излучения объекта, излучение регистрируют на...