Малюков Сергей Павлович
Датчик давления
Номер полезной модели: 659
Опубликовано: 15.03.2011
Авторы: Малюков Сергей Павлович, Нелина Светлана Николаевна
МПК: G01L 9/04
Формула / Реферат:
Датчик давления относится к информационно-измерительной технике и системам контроля и управления технологическими процессами.Задача полезной модели - повышение чувствительности датчика, расширение функциональных возможностей, упрощение конструкции и повышение технологичности его изготовления.Датчик давления включает корпус, эластичную мембрану на лейкосапфире, тензочувствительный элемент, нанесеный по планарной микроэлектронной технологии,...
Установка направленной кристаллизации расплава сапфира
Номер полезной модели: 477
Опубликовано: 15.04.2009
Авторы: Лебедев Георгий Александрович, Скубилин Михаил Демьянович, Чередниченко Дмитрий Иванович, Малюков Сергей Павлович
МПК: G05B 23/02, G01J 5/58
Метки: сапфира, направленной, установка, расплава, кристаллизации
Формула / Реферат:
Установка направленной кристаллизации расплава сапфира относится к автоматическим технологическим средствам, а в частности - к средствам автоматической направленной кристаллизации полупроводников в технологии микро-и нано- электронной аппаратуры.Установка содержит вакуумную камеру, теплоизоляционную камеру, размещенную в вакуумной камере, блок электрического питания, блок управления, датчики глубины вакуума и температуры, источник тепловой...