Патенты с меткой «сапфира»
Установка направленной кристаллизации расплава сапфира
Номер полезной модели: 477
Опубликовано: 15.04.2009
Авторы: Лебедев Георгий Александрович, Малюков Сергей Павлович, Скубилин Михаил Демьянович, Чередниченко Дмитрий Иванович
МПК: G05B 23/02, G01J 5/58
Метки: кристаллизации, расплава, установка, направленной, сапфира
Формула / Реферат:
Установка направленной кристаллизации расплава сапфира относится к автоматическим технологическим средствам, а в частности - к средствам автоматической направленной кристаллизации полупроводников в технологии микро-и нано- электронной аппаратуры.Установка содержит вакуумную камеру, теплоизоляционную камеру, размещенную в вакуумной камере, блок электрического питания, блок управления, датчики глубины вакуума и температуры, источник тепловой...