Авраменко Анатолий Васильевич
Способ бесконтактного измерения температуры
Номер предварительного патента: 11750
Опубликовано: 15.07.2002
Авторы: Скубилин Михаил Демьянович, Письменов Александр Владимирович, Авраменко Анатолий Васильевич
МПК: H01L 21/66, G01J 5/58
Метки: измерения, температуры, бесконтактного, способ
Формула / Реферат:
Изобретение относится к бесконтактным методам измерения температуры по тепловому излучению и может быть использовано для определения температуры поверхности нагретых объектов, в частности, полупроводниковых пластин в технологических установках, сварных швов, гибов труб при их термообработке, расплавов веществ и т.д.В способе бесконтактного измерения температуры, включающем прием теплового излучения объекта, излучение регистрируют на...