Медеуов Улугбек Идрисович

Номер патента: 11243

Опубликовано: 15.02.2007

Авторы: Туякбаев Данияр Алтаевич, Алдамжаров Казбек Бахитович, Медеуов Улугбек Идрисович, Туякбаев Альтай Альшерович

МПК: H01L 21/8238

Метки: схем, кмоп, изготовления, способ, интегральных

Формула / Реферат:

Изобретение относится к области полупроводниковой техники, а именно к способам изготовления КМОП интегральных микросхем.Способ включает последовательное, на изолирующей подложке, с помощью соответствующих масок, эпитаксиальное наращивание столбиков кремния р-типа и n-типа, формирование комплиментарных пар МОП транзисторов, омических контактов и межсоединений.Новым является то, что вместо сапфировой подложки берут стеклянную или керамическую,...