H01L 21/8238 — на комплементарных полевых транзисторах, например КМОП-структуры

Номер патента: 11243

Опубликовано: 15.02.2007

Авторы: Медеуов Улугбек Идрисович, Туякбаев Альтай Альшерович, Туякбаев Данияр Алтаевич, Алдамжаров Казбек Бахитович

МПК: H01L 21/8238

Метки: кмоп, схем, интегральных, способ, изготовления

Формула / Реферат:

Изобретение относится к области полупроводниковой техники, а именно к способам изготовления КМОП интегральных микросхем.Способ включает последовательное, на изолирующей подложке, с помощью соответствующих масок, эпитаксиальное наращивание столбиков кремния р-типа и n-типа, формирование комплиментарных пар МОП транзисторов, омических контактов и межсоединений.Новым является то, что вместо сапфировой подложки берут стеклянную или керамическую,...