H01L 21/268 — с использованием электромагнитного излучения, например лазерного
Устройство для удаления поверхностных загрязнений с подложки (варианты)
Номер патента: 8090
Опубликовано: 15.10.1999
Авторы: Одри К. Энгелсберг, Джозеф А. Дехайз
МПК: H01L 21/268
Метки: варианты, загрязнений, поверхностных, удаления, подложки, устройство
Формула / Реферат:
Изобретение относится к устройствам для удаления нежелательных поверхностных примесей с плоской или имеющей нерегулярную форму поверхности подложки 12 высокоэнергетическим излучением. Изобретение позволяет удалять нежелательные поверхностные примеси без изменения подложки, расположенной ниже молекулярной кристаллической структуры подложки 12. Источник высокоэнергетического излучения содержит импульсный или непрерывного действия лазер 14 или...