Джозеф А. Дехайз
Устройство для удаления поверхностных загрязнений с подложки (варианты)
Номер патента: 8090
Опубликовано: 15.10.1999
Авторы: Джозеф А. Дехайз, Одри К. Энгелсберг
МПК: H01L 21/268
Метки: загрязнений, подложки, удаления, поверхностных, устройство, варианты
Формула / Реферат:
Изобретение относится к устройствам для удаления нежелательных поверхностных примесей с плоской или имеющей нерегулярную форму поверхности подложки 12 высокоэнергетическим излучением. Изобретение позволяет удалять нежелательные поверхностные примеси без изменения подложки, расположенной ниже молекулярной кристаллической структуры подложки 12. Источник высокоэнергетического излучения содержит импульсный или непрерывного действия лазер 14 или...