Устройство для удаления поверхностных загрязнений с подложки (варианты)
Формула / Реферат
Изобретение относится к устройствам для удаления нежелательных поверхностных примесей с плоской или имеющей нерегулярную форму поверхности подложки 12 высокоэнергетическим излучением. Изобретение позволяет удалять нежелательные поверхностные примеси без изменения подложки, расположенной ниже молекулярной кристаллической структуры подложки 12. Источник высокоэнергетического излучения содержит импульсный или непрерывного действия лазер 14 или высокоэнергетическую лампу.
МПК / Метки
МПК: H01L 21/268
Метки: подложки, устройство, поверхностных, удаления, варианты, загрязнений
Код ссылки
<a href="https://kz.patents.su/0-8090-ustrojjstvo-dlya-udaleniya-poverhnostnyh-zagryaznenijj-s-podlozhki-varianty.html" rel="bookmark" title="База патентов Казахстана">Устройство для удаления поверхностных загрязнений с подложки (варианты)</a>
Предыдущий патент: Способ изготовления и размещения рекламы товаров и услуг
Следующий патент: Ветросиловая установка “ОСА-2″
Случайный патент: Изделие с абсорбирующим подмышником в виде прокладки