Устройство для удаления поверхностных загрязнений с подложки (варианты)

Номер патента: 8090

Опубликовано: 15.10.1999

Авторы: Джозеф А. Дехайз, Одри К. Энгелсберг

Формула / Реферат

Изобретение относится к устройствам для удаления нежелательных поверхностных примесей с плоской или имеющей нерегулярную форму поверхности подложки 12 высокоэнергетическим излучением. Изобретение позволяет удалять нежелательные поверхностные примеси без изменения подложки, расположенной ниже молекулярной кристаллической структуры подложки 12. Источник высокоэнергетического излучения содержит импульсный или непрерывного действия лазер 14 или высокоэнергетическую лампу.

МПК / Метки

МПК: H01L 21/268

Метки: подложки, устройство, поверхностных, удаления, варианты, загрязнений

Код ссылки

<a href="https://kz.patents.su/0-8090-ustrojjstvo-dlya-udaleniya-poverhnostnyh-zagryaznenijj-s-podlozhki-varianty.html" rel="bookmark" title="База патентов Казахстана">Устройство для удаления поверхностных загрязнений с подложки (варианты)</a>

Похожие патенты