Энджелсберг Одри С.
Способ удаления материала с подложки без воздействия на физические свойства остающегося материала (варианты) и устройство для удаления материала с подложки
Номер предварительного патента: 7294
Опубликовано: 15.03.1999
Авторы: Энджелсберг Одри С., Бетелл
МПК: B08B 7/00, B23K 26/00
Метки: удаления, устройство, способ, материала, варианты, свойства, подложки, остающегося, физические, воздействия
Формула / Реферат:
Изобретение относится к технологии производства полупроводниковых приборов и интегральных микросхем.Достигаемый технический результат - повышение производительности и качества продукции.Устройство и способ выборочного удаления нежелательного материала с поверхности подложки обеспечивает поток инертного газа над поверхностью нежелательного материала в то время, как происходит облучение нежелательного материала энергетическими фотонами....