Способ удаления материала с подложки без воздействия на физические свойства остающегося материала (варианты) и устройство для удаления материала с подложки
Формула / Реферат
Изобретение относится к технологии производства полупроводниковых приборов и интегральных микросхем.
Достигаемый технический результат - повышение производительности и качества продукции.
Устройство и способ выборочного удаления нежелательного материала с поверхности подложки обеспечивает поток инертного газа над поверхностью нежелательного материала в то время, как происходит облучение нежелательного материала энергетическими фотонами. Изобретение позволяет удалять нежелательный материал без изменения физических свойств материала, находящегося под удаляемым нежелательным материалом или рядом с ним. Изобретение может быть применено для изменения рельефа поверхности (в том числе для создания наноструктур и выравнивания поверхности).
МПК / Метки
МПК: B08B 7/00, B23K 26/00
Метки: физические, остающегося, материала, варианты, свойства, воздействия, удаления, способ, подложки, устройство
Код ссылки
<a href="https://kz.patents.su/0-pp7294-sposob-udaleniya-materiala-s-podlozhki-bez-vozdejjstviya-na-fizicheskie-svojjstva-ostayushhegosya-materiala-varianty-i-ustrojjstvo-dlya-udaleniya-materiala-s-podlozhki.html" rel="bookmark" title="База патентов Казахстана">Способ удаления материала с подложки без воздействия на физические свойства остающегося материала (варианты) и устройство для удаления материала с подложки</a>
Способ отделения полимерного материала от подложки и устройство для его осуществления
Номер предварительного патента: 3804
Опубликовано: 16.09.1996
Авторы: Зыбин Юрий Васильевич, Шиповалова Марина Алексеевна
МПК: B29B 17/02
Метки: устройство, полимерного, подложки, отделения, осуществления, материала, способ
Формула / Реферат:
Изобретение относится к обработке слоистых материалов, состоящих из металлической фольги, покрытой полимерной пленкой, и может быть использовано для утилизации отработанных печатных плат или утилизации технологических отходов в производстве печатных плат и слоистых пластиков.Техническим результатом от применения изобретения является упрощение способа, снижение энергоемкости и повышение надежности устройства. Это достигается тем, что способ...
Способ паротеплового воздействия на нефтяной пласт и устройство для его осуществления (варианты)
Номер предварительного патента: 5620
Опубликовано: 15.12.1997
Авторы: Ибраев Шамиль Шамшыулы, Хаиров Галий Бахытжанович, Ершин Шахбаз Алим-Гиреевич, Жангазиев Жаксылык Смагулович, Жапбасбаев Узак Каирбекович, Хасанов Тулеген Аишевич
МПК: H05B 7/22
Метки: устройство, пласт, нефтяной, варианты, способ, паротеплового, осуществления, воздействия
Формула / Реферат:
Изобретение относится к термическим способам добычи нефти, преимущественно высокой вязкости, и может быть использовано для повышения нефтеотдачи пластов и интенсификации разработки нефтяных месторождений.Технический результат изобретения - повышение эффективности способа паро-теплового воздействия на нефтяной пласт и создание устройств для его осуществления. Повышение эффективности способа заключается в обеспечении максимальной нефтеотдачи при...
Способ измельчения материала и устройство для его осуществления
Номер предварительного патента: 6258
Опубликовано: 15.06.1998
Автор: Нурмамбетова Дамиля Эмилевна
МПК: B02C 19/06
Метки: устройство, измельчения, способ, материала, осуществления
Формула / Реферат:
Изобретение относится к технике измельчения материала и может быть использовано в энергетической, горнорудной, химической, строительной, пищевой промышленности и в сельском хозяйстве. Технический результат - снижение износа оборудования достигается тем, что способ измельчения материала включаетвоздействие на него акустическими колебаниями, частоту которых устанавливают в пределах резонансных частот фракционного состава измельчаемого материала,...
Способ дозирования длинностебельчатого материала и устройство для его осуществления
Номер патента: 810
Опубликовано: 15.06.1994
Авторы: Джингилбаев Сеит Сарсенбаевич, Педан Николай Иванович, Локшин Анатолий Леонидович, Шевченко Людмила Серафимовна
МПК: A01F 12/10
Метки: устройство, длинностебельчатого, материала, осуществления, дозирования, способ
Формула / Реферат:
Изобретение относится к сельскому хозяйству. Цель изобретения - более равномерная подача длинностебельчатого материала. Способ дозирования длинностебельчатого материала осуществляют с помощью устройства, которое работает следующим образом. Сформированный стог подают транспортером 1 на питательный транспортер 3, на котором его разделяют на два потока, отдозированный материал выгружают с питательного транспортера 3, а излишнюю массу отводят с...
Устройство для поперечной резки длинномерного материала на отрезки заданной длины
Номер предварительного патента: 3808
Опубликовано: 16.09.1996
Авторы: Ким Федор Иванович, Кулбасов Гани Жаншуакович
МПК: D06H 7/02
Метки: заданной, материала, поперечной, длинномерного, отрезки, устройство, резки, длины
Формула / Реферат:
Изобретение относится к легкой промышленности, преимущественно к швейной, обувной и кожгалантерейной отраслям и может быть использовано для резания длиномерного материала на отрезки заданной длины.Достигаемый технический результат изобретения - повышение точности отрезания материала заданной длины.Устройство содержит связанную со средством для отмеривания длины, подвижную каретку, смонтированный на каретке над ее столом плоский прижим, а...