B08B 7/00 — Чистка способами, не отнесенными к другим группам данного подкласса или к другим подклассам
Способ удаления материала с подложки без воздействия на физические свойства остающегося материала (варианты) и устройство для удаления материала с подложки
Номер предварительного патента: 7294
Опубликовано: 15.03.1999
Авторы: Бетелл, Энджелсберг Одри С.
МПК: B23K 26/00, B08B 7/00
Метки: удаления, воздействия, физические, варианты, устройство, материала, подложки, свойства, остающегося, способ
Формула / Реферат:
Изобретение относится к технологии производства полупроводниковых приборов и интегральных микросхем.Достигаемый технический результат - повышение производительности и качества продукции.Устройство и способ выборочного удаления нежелательного материала с поверхности подложки обеспечивает поток инертного газа над поверхностью нежелательного материала в то время, как происходит облучение нежелательного материала энергетическими фотонами....
Устройство для очистки изделий
Номер патента: 2766
Опубликовано: 15.12.1995
Авторы: Чепрасов Александр Иванович, Пименов Анатолий Николаевич, Дейнега Анатолий Яковлевич, Бродский Борис Абрамович, Васильев Владимир Алексеевич, Шаяхметов Багдат Мухаметович, Болотов Альберт Васильевич
МПК: B08B 7/00
Метки: изделий, устройство, очистки
Формула / Реферат:
Изобретение относится к области цветной металлургии и может быть использовано при производстве губчатого титана.Цель изобретения - повышение качества очистки и увеличение срока службы тигля ковша для транспортировки хлорида магния.Устройство для очистки изделия содержит средство нагрева поверхности изделия, включающее плоский индуктор, расположенный с возможностью поворота в плоскости, параллельной своей рабочей плоскости, источник переменного...