C23C 16/30 — осаждение соединений, смесей или твердых растворов, например боридов, карбидов, нитридов

Номер инновационного патента: 31176

Опубликовано: 16.05.2016

Авторы: Хусурова Гульнур Марсовна, Уразов Кажмухан Аманкельдиевич, Журинов Мурат Журинович, Дергачева Маргарита Борисовна, Гуделева Наталья Николаевна, Леонтьева Ксения Александровна

МПК: H01L 31/06, C01G 9/08, C23C 16/30...

Метки: изготовления, тонких, пленок, способ

Формула / Реферат:

Изобретение относится к способам изготовления тонких нанокристаллических пленок сульфида цинка как оптического элемента прозрачного в инфракрасной области с улучшенным пропусканием в видимой области. Пленка сульфида цинка может быть использована в качестве дешевого и эффективного фотопреобразующего материала. Предлагаемый способ позволяет получить пленки полупроводникового соединения ZnS с заданной стехиометрией и шириной запрещенной зоны 4,0...