Патенты с меткой «отделенных»
Способ получения отделенных пленок арсенида или фосфида галлия-алюминия
Номер патента: 1311
Опубликовано: 15.09.1994
Автор: Таурбаев Токтар Искатаевич
МПК: H01L 21/208
Метки: отделенных, пленок, способ, получения, фосфида, галлия-алюминия, арсенида
Формула / Реферат:
Изобретение относится к технологии полупроводников, преимущественно к жидкостной эпитаксии соединений типа А3В5, и может быть использовано для создания тонкопленочных полупроводниковых приборов, в частности солнечных элементов. Целью изобретения является экономия подложечного материала за счет уменьшения глубины травления. Приведение алюминийсоцержашего расплава олова в контакт с подложкой арсенида или фосфида галлия сопровождается образованием...