Способ получения силана
Номер предварительного патента: 4628
Опубликовано: 16.06.1997
Авторы: Гибадуллин Владимир Шарипович, Сарсембинов Шамши Шарипович, Бекетов Борис Анатольевич, Мукашев Булат Нигматович, Тамендаров Марат Фаттыхович
Формула / Реферат
Способ получения силана, применяемого в полупроводниковой промышленности, взаимодействием кремниевого сплава, полученного из шлаков фосфорного производства, с солью аммония, например NН4С1. Процесс ведут при температуре 210-230°C , а сплав кремния, полученный в результате алюмотермического восстановления, имеет следующий состав в мас.%: Si - 50-70; Мg - 15-25; Са - 5-10; А1 - 5-10; Nа - 0,5-1; Р - 0,4-0,9; F - 0,3-0,8; остальное - сопутствующие примеси К, Мn, Тi, Fe и др.
МПК / Метки
МПК: C01B 33/04
Метки: способ, получения, силана
Код ссылки
<a href="https://kz.patents.su/0-pp4628-sposob-polucheniya-silana.html" rel="bookmark" title="База патентов Казахстана">Способ получения силана</a>