Формула / Реферат

Способ получения силана, применяемого в полупроводниковой промышленности, взаимодействием кремниевого сплава, полученного из шлаков фосфорного производства, с солью аммония, например NН4С1. Процесс ведут при температуре 210-230°C , а сплав кремния, полученный в результате алюмотермического восстановления, имеет следующий состав в мас.%: Si - 50-70; Мg - 15-25; Са - 5-10; А1 - 5-10; Nа - 0,5-1; Р - 0,4-0,9; F - 0,3-0,8; остальное - сопутствующие примеси К, Мn, Тi, Fe и др.

МПК / Метки

МПК: C01B 33/04

Метки: способ, получения, силана

Код ссылки

<a href="https://kz.patents.su/0-pp4628-sposob-polucheniya-silana.html" rel="bookmark" title="База патентов Казахстана">Способ получения силана</a>

Похожие патенты