Жирков Александр Борисович
Способ получения трехсоставного биметаллического соединения кремния Ca2Al4Si3, применение его для получения силана и способ получения силана
Номер предварительного патента: 11623
Опубликовано: 14.06.2002
Авторы: Жандаев Нурлан Мукатаевич, Жирков Александр Борисович
МПК: C01B 33/04
Метки: кремния, способ, получения, трехсоставного, силана, применение, биметаллического, ca2al4si3, соединения
Формула / Реферат:
Изобретение относится к области полупроводниковой техники.Способ получения силана (SiH4), применяемого в полупроводниковой промышленности, включает в себя получение трехсоставного биметаллического соединения кремния Са2Аl4Si3 путем алюминотермического восстановления природных и техногенных окислов SiO2 и СаО или их соединений, при соотношении алюминий окислы, равном 1/2-5. Способ получения силана путем разложения òðåõñîñòàâíîãî áèìåòàëëè÷åñêîãî...