Патенты с меткой «биметаллического»
Способ получения трехсоставного биметаллического соединения кремния Ca2Al4Si3, применение его для получения силана и способ получения силана
Номер предварительного патента: 11623
Опубликовано: 14.06.2002
Авторы: Жирков Александр Борисович, Жандаев Нурлан Мукатаевич
МПК: C01B 33/04
Метки: способ, соединения, биметаллического, применение, кремния, ca2al4si3, получения, силана, трехсоставного
Формула / Реферат:
Изобретение относится к области полупроводниковой техники.Способ получения силана (SiH4), применяемого в полупроводниковой промышленности, включает в себя получение трехсоставного биметаллического соединения кремния Са2Аl4Si3 путем алюминотермического восстановления природных и техногенных окислов SiO2 и СаО или их соединений, при соотношении алюминий окислы, равном 1/2-5. Способ получения силана путем разложения òðåõñîñòàâíîãî áèìåòàëëè÷åñêîãî...