Патенты с меткой «силицидового»
Способ создания силицидового слоя
Номер предварительного патента: 7342
Опубликовано: 15.03.1999
Автор: Тыныштыкбаев Курбангали Байназарович
МПК: H01L 21/26
Метки: создания, слоя, способ, силицидового
Формула / Реферат:
Способ относится к технологическим методам твердотельной электроники и может быть использован при создании диодных, транзисторных, тиристорных и оптоэлектронных устройств на кремнии.Для упрощения способа создания силицидового слоя осуществляют контролируемое наводороживание поверхности кремния, пассивацию ее гидридными Si-H связями. Способ позволяет снижать температуру формирования силицида за счет активации процесса силицидообразования...