Патенты с меткой «эпитаксии»
Устройство для жидкостной эпитаксии полупроводниковых пленок
Номер предварительного патента: 9566
Опубликовано: 16.10.2000
Автор: Антощенко Владимир Степанович
МПК: H01L 21/208
Метки: эпитаксии, жидкостной, пленок, полупроводниковых, устройство
Формула / Реферат:
Предлагается устройство для жидкостной эпитаксии полупроводниковых пленок сдвигового типа, включающее подложкодержатель с выемкой для подложки и расположенный на нем блок с отверстием для расплава, размер которого в направлении движения подложкодержателя меньше длины выемки для подложки. Подложкодержатель имеет ступеньку, примыкающую к выемке для подложки и имеющую высоту не менее размера отверстия для расплава в направлении движения...