Способ переработки фосфорных шлаков

(51) 01 25/08 (2009.01) КОМИТЕТ ПО ПРАВАМ ИНТЕЛЛЕКТУАЛЬНОЙ СОБСТВЕННОСТИ МИНИСТЕРСТВА ЮСТИЦИИ РЕСПУБЛИКИ КАЗАХСТАН(57) Изобретение относится к области разработки новых способов получения моносилилфосфина. Способ включает процесс получения моносилилфосфина. Новым является то, что в реактор с порошком сплава,получаемого путем введения в расплавленный фосфорный шлак алюминия в соотношении (1,0-1,2)(0,3-0,4) и карбоната магния в количестве 25-45 от количества алюминия и после протекания алюмотермического процесса, вводят кислотный раствор, выделяющий при этом моносилилфосфин, который в потоке инертного газа набирают в газовые баллоны.(76) Алдамжаров Казбек БахитовичТуякбаев Альтай АльшеровичПоздняков Алексей ВладимировичТуякбаев Даулет Альтаевич(54) СПОСОБ ПЕРЕРАБОТКИ ФОСФОРНЫХ ШЛАКОВ 24158 Изобретение относится к области разработки способов получения моносилилфосфина. Известен способ получения моносилилфосфина основанный на смешении газов моносилана и фосфина (кн Нашельский А.Я. Производство полупроводниковых материалов. М. Металлургия, 1989 г.). Основной недостаток данного способа состоит в сравнительно высокой дороговизне получаемого моносилилфосфина. Настоящее изобретение позволяет снизить себестоимость получаемого моносилилфосфина. Это достигается тем, что в способе, включающем процесс получения моносилилфосфина, согласно предлагаемому изобретению, в реактор с порошком сплава,получаемого путем введения в расплавленный фосфорный шлак алюминия в соотношении (1,0-1,2)(0,3-0,4) и карбоната магния в количестве 25-45 от количества алюминия и после протекания алюмотермического процесса, вводят кислотный раствор, выделяющий при этом моносилилфосфин, который в потоке инертного газа набирают в газовые баллоны. Сущность изобретения заключается в том, что получаемый вышеуказанным способом порошок сплава, имея в своем составе фосфид алюминия, при воздействии кислотного раствора выделяет газ фосфин, а из-за наличия в сплаве соединений кремния, алюминия и магния происходит выделение газа силана, которые смешиваясь превращаются в моносилилфосфин. Испытания предлагаемого способа были проведены в лабораторных условиях. При этом для получения моносилилфосфина необходимо было получить сплав из фосфорного шлака, который производили на индукционной печи путем расплавления фосфорного шлака и добавления в него алюминия в соотношении (1,0-1,2)(0,3-0,4) и карбоната магния в количестве 25-45 от количества алюминия. Следует отметить, что после завершения алюмотермического процесса,получаемый расплав выливали в изложницы. После остывания полученный расплав рассыпается при этом одна часть рассыпается как песок, а другая часть выглядит в виде корольков. Нам для наших экспериментов нужны, именно, эти корольки,которые мы измельчали на шаровых мельницах. Порошок сплава помещали в колбе в вакуумную установку ВУП-4 при достаточно глубоком вакууме,после чего в колбу вводили раствор соляной кислоты, а выделяющийся газ направляли для анализа в масспектрометр. Экспериментальные исследования показали, что получается газ моносилилфосфин, который можно использовать для легирования тех или иных областей интегральных схем или полупроводниковых приборов. Исследования показали, что предлагаемый способ позволяет получать в достаточной мере дешевый моносилилфосфин,который при изготовлении интегральных схем позволяет значительно снизить их себестоимость. ФОРМУЛА ИЗОБРЕТЕНИЯ Способ переработки фосфорных шлаков,включающий алюмотермическое восстановление шлака и добавление кислоты, отличающийся тем,что в реактор с порошком сплава, получаемого путем введения в расплавленный фосфорный шлак алюминия в соотношении (1,0-1,2)(0,3-0,4) и 2545 карбоната магния от количества алюминия после протекания алюмотермического процесса,вводят кислоту, а выделяющийся газообразный продукт с потоком инертного газа собирают в газовые баллоны.