Способ измерения скорости электронов и устройство для его осуществления
Формула / Реферат
Изобретение относится к области анализа и контроля качественного и количественного состава поверхности и приповерхносных слоев вещества и изучению наноструктурных материалов с применением методов рентгено-фотоэлектронной спектроскопии (РФЭС) и/или оже-электронной спектроскопии (ОЭС) и может быть использовано в электронной и электротехнической промышленности, приборостроении, прецизионной металлургии и т.п.
Способ измерения спектра электронов включает испускание электронов из источника, фокусировку, диспергирование и регистрацию этих электронов, при этом снятие спектра электронов производят для двух образцов одновременно двумя детекторами и сигналы с них сравнивают схемой сравнения в режиме "in-situ".
Устройство для измерения спектра электронов, включает источник возбуждения, образец, электронный спектрометр и систему регистрации, при этом в качестве энергоанализатора использованы электростатический электронный спектрометр на основе призменной оптики, два образца, расположенные друг над другом по высоте в плоскости предмета, два детектора в плоскости изображения и двухканальная система регистрации со схемой сравнения.
Технический результат изобретения заключается в улучшении качества анализа поверхностных слоев образца при применении сравнительного метода измерения с одновременным использованием двух источников электронов (образцов) и одновременной регистрацией их спектров электронов двумя детекторами.
МПК / Метки
МПК: G01N 23/22, G01N 23/227
Метки: измерения, скорости, способ, осуществления, электронов, устройство
Код ссылки
<a href="https://kz.patents.su/0-18873-sposob-izmereniya-skorosti-elektronov-i-ustrojjstvo-dlya-ego-osushhestvleniya.html" rel="bookmark" title="База патентов Казахстана">Способ измерения скорости электронов и устройство для его осуществления</a>
Предыдущий патент: Гидроциклонная насосная установка
Следующий патент: Способ (варианты) и устройство мобильной связи (варианты)
Случайный патент: Способ сушки растворов, суспензий и эмульсий