G01N 23/227 — измерением фотоэлектрического эффекта, например оже-электронов
Способ измерения скорости электронов и устройство для его осуществления
Номер патента: 18873
Опубликовано: 15.10.2007
Автор: Ахметов Келис Мауленулы
МПК: G01N 23/22, G01N 23/227
Метки: способ, скорости, осуществления, электронов, измерения, устройство
Формула / Реферат:
Изобретение относится к области анализа и контроля качественного и количественного состава поверхности и приповерхносных слоев вещества и изучению наноструктурных материалов с применением методов рентгено-фотоэлектронной спектроскопии (РФЭС) и/или оже-электронной спектроскопии (ОЭС) и может быть использовано в электронной и электротехнической промышленности, приборостроении, прецизионной металлургии и т.п.Способ измерения спектра электронов...