Тулеушев Адил Жианшахович
Страница 2
Устройство для магнетронного получения нитридных, карбидных и карбонитридных покрытий
Номер патента: 2675
Опубликовано: 16.06.1997
Авторы: Мухамедшин Ирек Шамильевич, Ким Светлана Николаевна, Тулеушев Адил Жианшахович
МПК: C23C 14/36
Метки: магнетронного, карбидных, устройство, карбонитридных, нитридных, получения, покрытий
Формула / Реферат:
Изобретение относится к области нанесения износостойких и защитных покрытий в вакууме, а именно к устройствам ионно-плазменного распыления в скрещенных электрическом и магнитном полях и может быть использовано в машиностроении, медицинской промышленности, оптике, а такие при нанесении декоративных покрытий на ювелирные, часовые и другие изделия.Устройство для магнетронного получения нитридных, карбидных и карбонитритных покрытий содержит катод,...